Máy đo điện trở Bridge Multiposition with RM3000+ Test Unit
Hãng Bridge Technology
Đầu dò wafer đa vị trí kết hợp với Thiết bị kiểm tra RM3000+ cung cấp hệ thống chất lượng cao, dễ sử dụng để đo điện trở tấm và/hoặc điện trở suất thể tích của các tấm wafer có đường kính lên tới 200mm (8 inch).
Đầu dò wafer đa vị trí có khả năng thăm dò 1, 5, 9 hoặc nhiều vị trí hơn trên nhiều wafer với độ lặp lại định vị 1mm từ wafer này đến wafer khác. Nó không được trang bị động cơ nhưng yêu cầu người dùng di chuyển đế bán dẫn bằng tay. Nó có sẵn với mâm cặp wafer 6 inch (150mm) hoặc mâm cặp wafer 8 inch (200mm).
Giá của cả hai thiết bị là như nhau, tuy nhiên, MWP-6 sẽ phù hợp hơn khi sử dụng với các tấm bán dẫn có đường kính 6 inch hoặc nhỏ hơn do việc định tâm tấm bán dẫn trên mâm cặp bán dẫn dễ dàng hơn. Các vòng hình khuyên (không phải vòng chân không) cho phép các tấm bán dẫn được căn giữa dễ dàng hơn. Để hỗ trợ định tâm các tấm wafer nhỏ hơn, Đầu dò wafer đa vị trí 6 inch có các mẫu hình tròn trên mâm cặp wafer với đường kính 25mm, 50mm, 75mm, 100mm và 125mm.
Hệ thống 8 inch có các vòng tròn ở mức 125mm và 150mm. Đầu dò wafer đa vị trí có thể được kết nối với nguồn chân không để giữ wafer. Thiết bị bao gồm một đế kim loại sơn tĩnh điện màu trắng mang cột Delrin hỗ trợ thanh trượt thẳng đứng, trục cần vận hành và công tắc vi mô. Thanh trượt dọc mang đầu dò, được cố định bằng vít kẹp. Đầu đầu dò được định vị sao cho công tắc vi mô không truyền dòng điện cho đến khi đầu dò tiếp xúc, chuyển động mất sẽ đảm bảo rằng dòng điện bị tắt trước khi đầu dò được nâng lên. Bàn wafer trượt về phía người vận hành để cho phép wafer được đặt ở vị trí trung tâm, sau đó van điều khiển chân không có thể được vận hành để cố định nó vào đúng vị trí. Khi bàn được đẩy đến giới hạn hành trình của nó, phép đo có thể được thực hiện ở tâm của bàn. Bốn vị trí hướng tâm vuông góc với nhau được biểu thị bằng bi chỉ số chịu tải bằng lò xo được lắp vào bàn quay. Khoảng cách xuyên tâm của phép đo được biểu thị bằng cách sắp xếp tương tự trên tấm chỉ số trượt tuyến tính. Các cài đặt không mong muốn có thể bị chặn bằng cách tháo vít dễ dàng. Vì vậy, ví dụ, người ta có thể chọn đo ở tâm và bốn điểm ở bán kính 50mm. Một tấm chắn kim loại nối đất che chắn tấm wafer khỏi ánh sáng và nhiễu điện trong quá trình đo. Người ta bố trí tấm chắn nâng lên khi đầu dò được nâng lên hoàn toàn để cho phép tải.
Hệ thống này kết hợp đầu dò hình trụ Jandel được chế tạo theo tiêu chuẩn cao về chất lượng và độ chính xác.
Thông số kỹ thuật của đầu dò wafer đa vị trí:
Kẹp wafer - Hợp kim nhôm anod hóa cứng có chức năng giữ chân không, rãnh định tâm và rãnh nhíp dành cho: model 6" – tấm wafer 3”, 4”, 5” và 6”, model 8” – 5”, 6” và 8” danh nghĩa đường kính.
6” Vị trí đo đặt trước của mẫu: Tâm và bốn bán kính ở các góc vuông 15, 20, 25, 35, 50 và 60mm
8” Vị trí đo đặt trước của mẫu: Tâm và bốn bán kính ở các góc vuông 32, 38, 50, 57, 68 và 94mm
Dịch vụ: Cần có đường chân không hoặc máy bơm
Kích thước: cao 355 x 215 x 195mm
Trọng lượng tịnh: mẫu 6” – 3,5kg, mẫu 8” – 4,0kg